面向先进刻蚀工艺对高速响应流量计的特殊需求，青岛芯笙微纳电子科技有限公司在国家科技部重点研发计划的支持下，提出一种“MEMS流量传感器+压电比例阀”的创新方案（全球首创），并开发出刻蚀机专用流量计产品：S7…...
