肖特玻璃（ZERODUR）等零膨胀特种光学玻璃，因具备优异的尺寸稳定性，成为高精度光学仪器的核心材料，但这类材料加工难度极大：加工过程中易因应力导致变形，影响尺寸稳定性；对表面精度与光洁度要求极高，传统设备难…...
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