tokyokeiso东京计装 超声波液体流量计 UCUF06EU
纯水/化学设备流量计和控制器
超声波流量计（设备用）| 高精度型
UCUF-E系列超声波液体流量计专为测量超纯水和各种化学液体的微量流量而设计。它由UCUF-E检测器和SFC转换器组成。UCUF
检测器的所有接触介质部件均采用半导体级PFA材料制成，无运动部件，也无易积液的机械密封件（例如O型圈）。其理想的洁净结构使其成为对洁净度要求极高的工艺（例如半导体设备）的理想选择。SFC
转换器可显著降低流体中气泡的影响，而气泡是半导体和化学工艺中常见的问题。为了适应各种化学液体，该流量计配备了补偿功能，可消除流体动力粘度的影响。可通过RS485通信实现集中式过程管理（详情请参阅转换器技术指南）。
*由于产品改进，所提供的信息可能会在不另行通知的情况下发生变更。
特征
EMC合规标准：EN61326-1 / EN61326-2-3
符合 RoHS2 标准
带连接器结构的可拆卸传感器电缆
能够测量运动粘度高达 40 mm²/s 的高粘度流体。
精度在指示值的±1%以内（流速为1米/秒或更高时）。
量程范围广（典型值为 100:1）
理想的清洁检测器
耐腐蚀且易于安装
主要用途
半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
各种化学注入过程的流量测量
高腐蚀性液体的流量测量
CMP浆料流量测量
其他中小直径工艺液体流量测量
非常适合用于测量和控制清洗设备和CMP设备的流量。
标准规格
探测器规格
测量目标 所有液体（不含气泡的液体，均匀溶解的混合液体）
口径 04SE、04E：4毫米，06E：6毫米
流量范围
04SE，04E：
0 至 3000 毫升/分钟（最大值）
0 至 50 毫升/分钟（最小值）
06E：
0 至 8000 毫升/分钟（最大值）
0 至 400 毫升/分钟（最小值）
流体温度 +10 至 90℃
流体压力 0 至 0.5 兆帕
进程连接 PFA管端
测量精度
04SE，04E：
读数的±1%（800 mL/min 或以上），
±8 mL/min（低于 800 mL/min）
06E：
读数的±1%（1700 mL/min 或以上），
±17 mL/min（低于 1700 mL/min）
兼容转换器
格式 SFC3000
输入 传感器信号：专用电缆（BNC 连接器）
脉冲输出 可选择频率脉冲输出、累计脉冲输出或故障输出。
开集电极负载额定值：DC30V，15mA 或更低
。频率脉冲输出
占空比：1:1。
脉冲频率：0 至 1000Hz（满量程）
。累计脉冲输出
单位：×0.1mL、×1mL、×10mL、×1L。
脉冲宽度：0.5ms、50ms、100ms
。故障输出（转换器或检测器异常时输出）。常开
(NO) 或常闭 (NC) 可选 。
电流输出 DC4 至 20mA 负载电阻：500Ω 以内
低截止频率 0 至 25% FS
沟通 配备RS485通信功能，协议：MODBUS，最多可连接32台设备
电源 DC24V±10%
结构 IP20（室内使用）
安装 DIN导轨安装
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